| タイプ別仕様表 |
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TYPE H, HD |
TYPE L |
TYPE PCB |
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大きなサンプル、HDの測定に |
小型、薄型のサンプル測定に |
3方向開放型チャンバー |
| 測定対象物 |
単層メッキ、多層メッキ、合金のメッキ |
| 測定元素範囲 |
21(Sc)〜92(U) |
| 検出範囲 |
約0.01μm〜(測定元素によって異なります) |
| 測定時間 |
任意に設定 |
| X線管 |
W(タングステン)ターゲット、真空オイル冷却、管内電流0〜1mA(プログラムコントロール) |
| 検出器 |
比例計数管(半導体検出器はオプション) |
| フィルター |
Coフィルター標準装備(Niはオプション) |
| コリメーター |
固定コリメーター、もしくはオートコリメーター(φ0.1、φ0.2、φ0.3、φ0.4、0.05×0.3mm) |
| 電源 |
AC100V±10%、50/60Hz |
| データ変換方式 |
RS-232C |
| CCDカメラ |
デジタルCCDカメラ標準装備 |
| フォーカス |
ステッピングモーターによるコントロール、オートフォーカス機能付属(一部機種を除く) |
| ステージ移動 |
X-Y-Z方向ステッピングモーター、試料台自動押引機能、スピードコントロール機能標準装備 |
| ライト |
調光機能付ライト標準装備 |
| レポート機能 |
棒グラフ、最大値、最小値、平均値、標準偏差、変動係数、カメラ画像、ロゴ等 |
| 測定結果転送機能 |
MS-EXCELに自動転送可能 |
| 試料室内部寸法(mm) |
550W×550D×100H |
550W×550D×30H |
(∞)W×550D×30H |
| 測定可能範囲(mm) |
200W×150D×100H |
200W×150D×30H |
(∞)W×150D×30H |
| 許容荷重最大値 |
5kg |
3kg |
3kg |
| 本体外形寸法(mm) |
610W×670D×600H |
610W×670D×490H |
610W×670D×490H |